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CNC 表面粗糙度·輪廓測量一體機 形狀測量儀

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CNC 表面粗糙度·輪廓測量一體機 形狀測量儀

CS-H5000 CNC表面粗糙度測量機

特征:

? 高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。
? X1軸和Z2軸的大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s,可以高速定位,從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。
? X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實現高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。
? Z1軸檢出器采用主動控制方式,減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。
? Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置,當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時,檢測裝置可以自動停止工作。
? CS-5000CNC帶有a軸,可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。
? 帶有Y軸工作臺的型號,可沿Y軸進行多工件定位,從而增加了多工件測量范圍。
? 可選的外部控制功能(外部I/O),與PLC實現雙向通信(RS-232C)。
 


規格
 
貨號CS-5000CNC CS-H5000CNC
X1 軸測量范圍200mm 
分辨力0.00625μm 
長度基準激光全息測微計
驅動速度CNC型大40mm/s 
操縱桿0 - 40mm/s
測量速度 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓)
測量方向向前/ 向后 
直線度(使用標準測針) (0.1+0.0015L)μm    L: 驅動長度 (mm) (0.05+0.0003L)μm    L: 驅動長度 (mm)
(使用二倍長型測針)(0.2+0.0015L)μm    L: 驅動長度 (mm)(0.1+0.0015L)μm    L: 驅動長度 (mm) 
精度 (20oC)±(0.3+0.002L)μm    L: 驅動長度 (mm) ±(0.16+0.001L)μm    L: 驅動長度 (mm)
Z1 軸 (檢出器)測量范圍(使用標準測針) 12mm12μm
(使用二倍長型測針) 24mm24μm
分辨力(使用標準測針) 0.004 μm0.001 μm
(使用二倍長型測針)0.008 μm0.002 μm
測針針尖垂直運動 弧形移動
長度基準 激光全息測微計
精度 (20oC)(20oC) ±(0.3+|0.02H|)μm  H: 測量高度 (mm) ±(0.07+|0.02H|)μm  H: 測量高度 (mm)
測力(使用標準測針) 4mN (固定)
(使用二倍長型測針) 0.75mN(固定)
跟蹤角度向上: 60o, 向下: 60o, (根據表面粗糙度)
測針針尖形狀標準測針針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 
標準球頭測針球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 2倍測針
 2倍測針針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 
 2倍測針- 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2μm, 金剛石針尖 2倍球頭測針
2倍球頭測針球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 
測針方向 向下
Z2 軸 (立柱)行程范圍Z2 軸 (立柱, S 型)300mm
Z2 軸 (立柱, H 型)500mm-
分辨力0.05μm
長度基準反射型線性編碼器
驅動速度CNC型 大200mm/s 
 操縱桿 0 - 50mm/s 
基座尺寸 (W×D) 750×600mm
基座材料花崗巖 
注:雖然天然石材測量桌的外觀各有不同,但材料的穩定性是值得信賴的。